高纯氟化铵溶液
High purity ammonium fluoride solution for industrial use
标准状态
发布于：2014-07-08
实施于：2014-12-01
已废止
基本信息
GB/T 30901-2014
已废止
2014-07-08
2014-12-01
中国石油和化学工业联合会
中华人民共和国国家质量监督检验检疫总局、中国国家标准化管理委员会
中国石油和化学工业联合会
浙江凯恒电子材料有限公司、鹰鹏集团/宣城亨泰化工科技有限公司、中海油天津化工研究设计院等、福建省邵武市永飞化工有限公司、巨化集团技术中心
田志扬、赵晓亚、张红英、周鹏鹏、万群平、林益兴
标准简介
本标准规定了高纯氟化铵溶液的分级、要求、试验方法、检验规则、标志、标签、包装、运输、贮存和安全。 本标准适用于高纯氟化铵溶液。该产品主要应用于集成电路和超大规模集成电路芯片的清洗、蚀刻等行业。
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