薄膜集成电路用氧化铝陶瓷基片

Alumina ceramic substrates for thin film integrated circuits

GB/T 14620-1993已废止国家标准

标准状态

发布于：1993-09-03

实施于：1993-12-01

已废止

标准号GB/T 14620-1993

标准状态已废止

发布日期1993-09-03

实施日期1993-12-01

中国标准分类号L32

国际标准分类号31.200 集成电路、微电子学

主管部门工业和信息化部（电子）

技术归口工业和信息化部（电子）

起草单位国营七九九厂

本标准规定了薄膜集成电路用氧化铝陶瓷基片的结构尺寸、技术要求、试验方法、检验规则、标志、包装、运输、贮存。本标准适用于薄膜集成电路用氧化铝陶瓷基片（以下简称基片）。