微机电系统(MEMS)技术术语

Micro-electromechanical system technology - Terms

GB/T 26111-2010已废止国家标准

标准状态

发布于：2011-01-10

实施于：2011-10-01

已废止

标准号GB/T 26111-2010

标准状态已废止

发布日期2011-01-10

实施日期2011-10-01

中国标准分类号L55 微电路综合

国际标准分类号31.200 集成电路、微电子学

主管部门国家标准委

发布部门中华人民共和国国家质量监督检验检疫总局、中国国家标准化管理委员会

技术归口国家标准委

起草单位中机生产力促进中心、清华大学、中北大学等、中国电子科技集团第13研究所、上海交通大学

起草人丁红宇、刘伟、张苹、崔波

本标准规定厂微机电系统领域所涉及的材料、设计、加工、封装、测量以及器件等方面的通用术语和定义。本标准适用于微机电系统领域的研究、开发，评测和应用。