俄歇电子能谱仪检定方法

Verification method for Auger electron spectrometers(AES)

GB/T 35158-2017现行国家标准

标准状态

发布于：2017-12-29

实施于：2018-11-01

废止

标准号GB/T 35158-2017

标准状态现行

发布日期2017-12-29

实施日期2018-11-01

中国标准分类号G04 基础标准与通用方法

国际标准分类号71.040.40 化学分析

主管部门中国科学院

发布部门中华人民共和国国家质量监督检验检疫总局、中国国家标准化管理委员会

技术归口中国科学院

起草单位厦门大学、清华大学

起草人姚文清、岑丹霞、刘芬、王水菊、张增明、徐建

本标准规定了俄歇电子能谱仪（Auger electron spectrometer）的检定方法。本标准适用于激发源为电子束，且带有溅射清洁用离子枪的俄歇电子能谱仪。