硅外延层厚度测定堆垛层错尺寸法

YS/T 23-2016现行行业标准

标准状态

发布于：2016-04-05

实施于：2016-09-01

废止

标准号YS/T 23-2016

标准状态现行

发布日期2016-04-05

实施日期2016-09-01

中国标准分类号H21 金属物理性能试验方法

国际标准分类号77.040 金属材料试验

发布部门工业和信息化部

代替标准YS/T 23-1992

本标准规定了利用堆垛层错尺寸法测量硅外延层厚度的方法。本标准适用于在＜111>、＜100>和＜110> 晶向的硅单晶衬底上生长的2μm~120μm硅外延层厚度的测量。