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电子级三氯氢硅的化学气相沉积评价方法

YS/T 1740-2025现行行业标准

标准状态

发布于：2025-04-10

实施于：2025-11-01

废止

基本信息

标准号YS/T 1740-2025

标准状态现行

发布日期2025-04-10

实施日期2025-11-01

中国标准分类号H17 半金属及半导体材料分析方法

国际标准分类号77.040 金属材料试验

发布部门工业和信息化部

标准简介

适用于硅多晶生产和硅外延用电子级三氯氢硅的质量评价。

内容预览

YS/T 1740-2025 标准预览

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