微束分析扫描电子显微术 CD-SEM评定关键尺寸的方法

Microbeam analysis—Scanning electron microscopy—Method for evaluating critical dimensions by CD-SEM

GB/T 46057-2025现行国家标准

标准状态

发布于：2025-08-29

实施于：2026-06-10

废止

标准号GB/T 46057-2025

标准状态现行

发布日期2025-08-29

实施日期2026-06-10

中国标准分类号G04 基础标准与通用方法

国际标准分类号71.040.40 化学分析

主管部门国家标准委

发布部门国家市场监督管理总局、国家标准化管理委员会

技术归口国家标准委