半导体芯片化学机械抛光垫修整用金刚石盘

Diamond discs for dressing the chemical mechanical polishing (CMP) pad of semiconductor chips

GB/T 47927-2026即将实施国家标准

标准状态

发布于：2026-07-30

实施于：2027-02-01

废止

标准号GB/T 47927-2026

标准状态即将实施

发布日期2026-07-30

实施日期2027-02-01

中国标准分类号J43 磨料与磨具

国际标准分类号25.100.70 磨料磨具

主管部门中国机械工业联合会

发布部门国家市场监督管理总局、国家标准化管理委员会

技术归口中国机械工业联合会