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采用高质量分辨率辉光放电质谱法测量太阳能级硅中痕量元素的测试方法

Test method for measuring trace elements in photovoltaic-grade silicon by high-mass resolution glow discharge mass spectrometry

GB/T 32651-2016现行国家标准

标准状态

发布于:2016-04-25
实施于:2016-11-01
废止

基本信息

GB/T 32651-2016
现行
2016-04-25
2016-11-01
H82 元素半导体材料
29.045 半导体材料
国家标准委
中华人民共和国国家质量监督检验检疫总局、中国国家标准化管理委员会
国家标准委
国家太阳能光伏产品质量监督检验中心(无锡市产品质量监督检验中心)、国家硅材料深加工产品质量监督检验中心、中国电子技术标准化研究院、江苏中能硅业科技发展有限公司、江西赛维LDK太阳能高科技有限公司
何莉、吴建国、刘晓霞、鲁文锋、李建德、黄雪雯、裴会川、王琴、周滢、陈进、封丽娟、孙绍武、冯亚彬

标准简介

本标准规定了采用高质量分辨率辉光放电质谱法测量太阳能级硅中痕量元素的方法。 本标准适用于太阳能级硅材料中痕量元素的测定,其中铁(Fe)、铬(Cr)、镍(Ni)、铜(Cu)、锌(zn)、硼(B)、磷(P)、钙(Ca)、钠(Na)、镁(Mg)、铝(A1)、砷(As)、(Sc)、(Ti)、钒(v)、锰(Mn)、钻(C。)、(Ga)等元素的测定范围为5 μg/kg~50mg/kg。本方法适用于分析多种物理形态的以及添加任何种类和浓度掺杂剂的硅材料,例如多晶硅粉末、颗粒、块、锭、片和单晶硅棒、块、片等。

内容预览

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