机械电气安全 机械电气设备 第33部分：半导体设备技术条件
Electrical safety of machinary—Electrical equipment of machines—Part 33: Requirements for semiconductor fabrication equipment
标准状态
发布于：2017-10-14
实施于：2018-05-01
废止
基本信息
GB/T 5226.33-2017
现行
2017-10-14
2018-05-01
中国机械工业联合会
中华人民共和国国家质量监督检验检疫总局、中国国家标准化管理委员会
中国机械工业联合会
中微半导体设备(上海)有限公司、上海微电子装备有限公司、沈阳拓荆科技有限公司、中晟光电设备（上海）有限公司、盛美半导体设备（上海）有限公司、北京机床研究所、北京北方微电子基地设备工艺研究中心有限责任公司、北京七星华创电子股份有限公司、理想太阳能（上海）有限公司
李天笑、黄祖广、郭和平、沈红、孙岩、刘忠武、薛瑞娟、王海涛、田保峡、孙东曦、潘菊凤、张志强、李补忠
标准简介
GB/T5226的本部分规定了半导体设备相关的制造、测量、组装和测试的电气、电子和可编程电子设备及系统的安全要求。 注1：本部分中的“电气＂一词包括电气、电子和可编程电子设备三方面（如电气设备是指电气设备、电子设备和可编程电子设备）。 注2：就本部分而言，“人”(Person）一词泛指任何个人包括受用户或其代理指派，使用和管理上述设备的人。 本部分所论及的设备是从机械电气设备的电源引人处开始的（见5.1)。 注3:GB/T16895系列标准给出了建筑物电气装置的要求。 本部分适用的电气设备或电气设备部件，
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