晶体硅光伏电池用等离子体增强化学气相淀积（PECVD）设备 第1部分：管式 PECVD 设备
标准状态
发布于：2022-10-20
实施于：2023-01-01
废止
基本信息
SJ/T 11829.1-2022
现行
2022-10-20
2023-01-01
31.55
工业和信息化部
全国半导体没备和材料标推化技术委员会
全国半导体没备和材料标推化技术委员会
湖南红太阳光电科技有限公司、中国电子科技集团公司第四十八研究所、中国电子技术标准化研究院
吴得铁、田湘龙、龙会跃、成秋云、李晔纯、范迎新、肖友文、冯亚彬
标准简介
本文件规定了晶体硅光伏电池用管式等离子体增强化学气相淀积（PECVD）设备（以下简称“管式PECVD设备”）的术语和定义、型号命名、工作环境、要求、检验方法、检验规则以及包装、标志、搬运和运输、贮存等。 本文件适用于晶体硅光伏电池用管式PECVD设备膜，产品主要用于在晶体硅光伏电池减反射膜、钝化膜的淀积与氢钝化。
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