TDL-GX硅芯生长炉
标准状态
发布于：2014-07-14
实施于：2014-11-01
废止
基本信息
JB/T 12067-2014
现行
2014-07-14
2014-11-01
工业和信息化部
全国工业电热设备标准化技术委员会
西安电炉研究所有限公司、西安理工晶体科技有限公司等
陈巨才、朱琳
标准简介
本标准规定了对TDL-GX 硅芯生长炉产品的型号品种规格、技术要求、试验方法、检验规则、标志、包装、运输、存储以及定购和供货等。 本标准适用于高频感应加热，采用基座法生长硅基发热载体的设备。
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