硅外延用三氯氢硅

Trichlorosilane for silicon epitaxial

GB/T 30652-2014已废止国家标准

标准状态

发布于：2014-12-31

实施于：2015-09-01

已废止

标准号GB/T 30652-2014

标准状态已废止

发布日期2014-12-31

实施日期2015-09-01

中国标准分类号H83 化合物半导体材料

国际标准分类号29.045 半导体材料

主管部门国家标准委

发布部门中华人民共和国国家质量监督检验检疫总局、中国国家标准化管理委员会

技术归口国家标准委

起草单位中锗科技有限公司、南京中锗科技股份有限公司、南京国盛电子有限公司

起草人赵立奎、张莉萍、刘新军、郑华荣、谭卫东、金龙

本标准规定了硅外延用三氯氢硅（SiHC13）的要求、试验方法、检验规则和标志、包装、运输、贮存、质量证明书以及订货单（或合同）内容。本标准适用于以粗三氯氢硅为原料经过提纯而制得的硅外延用三氯氢硅（以下简称产品）。