真空蒸发镀膜设备
标准状态
发布于：2015-10-10
实施于：2016-03-01
废止
基本信息
标准简介
本标准规定了真空蒸发镀膜设备的型号、形式和基本参数﹑技术要求﹑试验方法﹑检验规则及标志﹑包装﹑运输﹑贮存等要求。 本标准适用于极限压力在5×10 -4 Pa～5×10 -3 Pa范围内的真空蒸发镀膜设备(以下简称设备)。
内容预览
本标准规定了真空蒸发镀膜设备的型号、形式和基本参数﹑技术要求﹑试验方法﹑检验规则及标志﹑包装﹑运输﹑贮存等要求。 本标准适用于极限压力在5×10 -4 Pa～5×10 -3 Pa范围内的真空蒸发镀膜设备(以下简称设备)。