氮化镓单晶位错密度的测量阴极荧光显微镜法

Test method for disoclation density of GaN single crystal—Cathodoluminescence spectroscopy

GB/T 32282-2015现行国家标准

标准状态

发布于：2015-12-10

实施于：2016-11-01

废止

标准号GB/T 32282-2015

标准状态现行

发布日期2015-12-10

实施日期2016-11-01

中国标准分类号H21 金属物理性能试验方法

国际标准分类号77.040 金属材料试验

主管部门国家标准委

发布部门中华人民共和国国家质量监督检验检疫总局、中国国家标准化管理委员会

技术归口国家标准委

起草单位中国科学院苏州纳米技术与纳米仿生研究所、苏州纳维科技有限公司

起草人曾雄辉、张燚、刘争晖、邱永鑫、董晓鸣、牛牧童、王建峰、徐科

本标准规定了用阴极荧光显微镜法测试氮化镓单晶位错密度的方法。本标准适用于位错密度在1×10^3 个/cm2~5×10^8 个/cm2 之间的氮化镓单晶中位错密度的测试。