集成电路用石英舟

JC/T 2372-2016现行行业标准

标准状态

发布于：2016-07-11

实施于：2017-01-01

废止

标准号JC/T 2372-2016

标准状态现行

发布日期2016-07-11

实施日期2017-01-01

中国标准分类号Q37 特种玻璃

国际标准分类号81.040 玻璃

发布部门工业和信息化部

本标准规定了集成电路用石英舟的术语和定义、分类和标记、材料、要求、试验方法、检验规则以及标志、清洗、包装、运输和贮存。本标准适用于集成电路制造工艺用8英寸及以下的石英舟制品，包含立式石英舟及卧式石英舟。