含氟蚀刻废液处理处置方法
Treatment and disposal method for spent fluoric etchant
标准状态
发布于：2017-11-01
实施于：2018-05-01
废止
基本信息
GB/T 34697-2017
现行
2017-11-01
2018-05-01
中国石油和化学工业联合会
中华人民共和国国家质量监督检验检疫总局、中国国家标准化管理委员会
中国石油和化学工业联合会
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标准简介
本标准规定了含氟蚀刻废液组成、处理处置方法及环境保护要求。 本标准适用于TFT-LCD液晶显示屏玻璃蚀刻、光伏行业蚀刻、IC硅片蚀刻、电极箔蚀刻及稀土蚀刻所产生含氟蚀刻废液的处理处置。
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