碳化硅单晶片直径测试方法

Test method for measuring diameter of monocrystalline silicon carbide wafers

GB/T 30866-2014已废止国家标准

标准状态

发布于：2014-07-24

实施于：2015-02-01

已废止

标准号GB/T 30866-2014

标准状态已废止

发布日期2014-07-24

实施日期2015-02-01

中国标准分类号H83 化合物半导体材料

国际标准分类号29.045 半导体材料

主管部门国家标准委

发布部门中华人民共和国国家质量监督检验检疫总局、中国国家标准化管理委员会

技术归口国家标准委

起草单位中国电子科技集团公司第四十六研究所、中国电子技术标准化研究院

起草人丁丽、周智慧、蔺娴、郝建民

本标准规定了用千分尺测量碳化硅单晶片直径的方法。本标准适用于碳化硅单晶片直径的量。