电子工业用气体 三氯化硼
Gases for electronic industry - Boron trichloride
标准状态
发布于：2011-01-14
实施于：2011-05-01
已废止
基本信息
GB/T 17874-2010
已废止
2011-01-14
2011-05-01
国家标准委
中华人民共和国国家质量监督检验检疫总局、中国国家标准化管理委员会
国家标准委
GB/T 17874-1999
西南化工研究设计院、光明化工研究设计院、上海华爱色谱分析技术有限公司
孙福楠、方华、庄鸿涛、周鹏云
标准简介
本标准规定了三氯化硼的技术要求、试验方法以及包装、标志、贮运及安全。 本标准适用于以粗制三氯化硼为原料，采用吸附、精馏等方法提纯制得的三氯化硼，主要用于半导体器件生产所用的扩散、离子注入、干法蚀刻等工艺。 分子式：BCl3相对分子质量：117．1691(按2007年国际相对原子质量计算)。
内容预览
