MEMS高g值加速度传感器性能试验方法

Test methods of the performance for MEMS high g accelerometer

GB/T 33929-2017现行国家标准

标准状态

发布于：2017-07-12

实施于：2018-02-01

废止

标准号GB/T 33929-2017

标准状态现行

发布日期2017-07-12

实施日期2018-02-01

中国标准分类号L55 微电路综合

国际标准分类号31.200 集成电路、微电子学

主管部门国家标准委

发布部门中华人民共和国国家质量监督检验检疫总局、中国国家标准化管理委员会

技术归口国家标准委

起草单位中北大学、中机生产力促进中心

起草人石云波、程红兵、马宗敏、朱悦、唐军、李海斌

本标准规定了MEMS高g值加速度传感器的电气性能和基本性能的术语和定义、试验条件、试验的一般规定、试验项目及方法。本标准适用于量程在1×1O4g~2×1O5g范围的MEMS高g值加速度传感器（以下简称加速度传感器）性能试验。