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电子工业用气体 锗烷

Gas for electronic industry—Germane

GB/T 31987-2015现行国家标准

标准状态

发布于:2015-09-11
实施于:2016-05-01
废止

基本信息

GB/T 31987-2015
现行
2015-09-11
2016-05-01
G86 工业气体与化学气体
71.100.20 工业气体
国家标准委
中华人民共和国国家质量监督检验检疫总局、中国国家标准化管理委员会
国家标准委
上海华爱色谱分析技术有限公司、中昊光明化工研究设计院有限公司、西南化工研究设计院、佛山市华特气体有限公司、国家化学工业气体产品质量监督检验中心(福建)
方华、裴友宏、陈熔、周鹏云、郭秀丽、林宇巍

标准简介

本标准规定了锗烷的技术要求、试验方法、标志、包装、贮运和安全。 本标准适用于氯化锗还原、电解氧化锗的硫酸溶液、锗镁合金与盐酸反应等方法得到的锗烷产品。它用于化学试剂、制取高纯度锗、化学气相淀积、扩散、非晶硅、外延、离子注入等领域。 分子式:GeH4。 相对分子质量:76.662(按2011年国际相对原子质量计算)。

内容预览

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