等离子刻蚀机用硅环
Silicon ring for plasma etching machine
标准状态
发布于：2024-12-02
实施于：2025-01-02
废止
基本信息
T/ZZB 3882-2024
现行
2024-12-02
2025-01-02
浙江省质量协会
浙江省质量协会
浙江盾源聚芯半导体科技有限公司、杭州盾源聚芯半导体科技有限公司、杭州中欣晶圆半导体股份有限公司、宁夏盾源聚芯半导体科技股份有限公司。
李长苏、祝建敏、刘志彪、郑小松、郭立华、密思、曾西、范明明、龚益文、祝军、周波、陈东、李熊、丁纺纺、刘永南、王少凡、曹锐、黄鹏。
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