电子工业用气体六氟化硫

Gases for electronic industry--Sulfur hexafluoride

GB/T 18867-2002已废止国家标准

标准状态

发布于：2002-10-15

实施于：2003-04-01

已废止

标准号GB/T 18867-2002

标准状态已废止

发布日期2002-10-15

实施日期2003-04-01

中国标准分类号G86 工业气体与化学气体

国际标准分类号71.100.20 工业气体

主管部门国家标准化管理委员会

技术归口全国半导体设备和材料标准化技术委员会

起草单位中核红华特种气体股份有限公司

本标准规定了电子工业用气体六氟化硫产品的技术要求、分析方法、检验规则以及包装、标志、运输、贮存和安全要求。本标准适用于硫与氟反应生成并经精制和纯化制备的高纯度六氟化硫。该产品主要用作等离子蚀刻剂、掺杂剂、电子元器件的外延气或稀释载气等。