纳米技术 三维纳米结构与器件的加工方法 离子束辐照诱导应变法
Nanotechnology—Fabrication of three dimensional nanostructures and devices—A strain method induced by ion beam irradiation
标准状态
发布于：2022-12-30
实施于：2023-07-01
废止
基本信息
GB/T 42106-2022
现行
2022-12-30
2023-07-01
中国科学院
国家市场监督管理总局、国家标准化管理委员会
中国科学院
中国科学院
中国科学院物理研究所、深圳市标准技术研究院、国家纳米科学中心
顾长志、杨海方、王益群、樊阳波、李俊杰、刘前
标准简介
本文件描述了离子束辐照诱导应变技术构建三维纳米结构与器件的加工方法，主要包括加工原理、材料与设备、环境条件、加工方法。 本文件适用于离子束辐照诱导直立纳米线和平面纳米薄膜的空间应变，进而实现三维空间中由一维纳米线和二维纳米薄膜构成的三维纳米结构与器件。
内容预览
