洁净室及相关受控环境 第13部分：达到粒子和化学洁净度要求的表面清洁
Cleanrooms and associated controlled environments—Part 13: Cleaning of surfaces to achieve defined levels of cleanliness in terms of particle and chemical classifications
标准状态
发布于：2022-12-30
实施于：2023-07-01
废止
基本信息
GB/T 25915.13-2022
现行
2022-12-30
2023-07-01
国家标准委
国家市场监督管理总局、国家标准化管理委员会
国家标准委
全国洁净室及相关受控环境标准化技术委员会
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标准简介
本文件提供了洁净室表面、设备表面和材料表面达到所需洁净度的清洁指导。本文件中的表面涉及所有表面（外表面、内表面）。 本文件提供评估达到表面洁净度的粒子浓度（SCP）和表面化学洁净度的化学物浓度（SCC）洁净度的所需清洁方法，以及达到规定洁净度宜考虑的清洁技术。
内容预览
