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电子级多晶硅

Electronic-grade polycrystalline silicon

GB/T 12963-2022现行国家标准

标准状态

发布于:2022-12-30
实施于:2023-07-01
废止

基本信息

GB/T 12963-2022
现行
2022-12-30
2023-07-01
H82 元素半导体材料
29.045 半导体材料
国家标准委
国家市场监督管理总局、国家标准化管理委员会
国家标准委
GB/T 12963-2014
国家标准化管理委员会
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标准简介

本文件规定了电子级多晶硅的牌号和类别、技术要求、试验方法、检验规则、标志、包装、运输、贮存、随行文件和订货单内容。 本文件适用于以氯硅烷、硅烷制得的电子级多晶硅(以下简称“多晶硅”)。

内容预览

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