产品几何技术规范（GPS） 表面结构 区域法 第604部分：非接触（相干扫描干涉）式仪器的标称特性
Geometrical product specifications (GPS)—Surface texture: Areal—Part 604: Nominal characteristics of non-contact (coherence scanning interferometry) instruments
标准状态
发布于：2022-12-30
实施于：2023-04-01
废止
基本信息
GB/T 33523.604-2022
现行
2022-12-30
2023-04-01
国家标准委
国家市场监督管理总局、国家标准化管理委员会
国家标准委
国家标准化管理委员会
清华大学、厦门市计量检定测试院、中机生产力促进中心有限公司、北京时代之峰科技有限公司、中机研标准技术研究院（北京）有限公司、天津大学、江苏锐精光电研究院有限公司、中国计量大学、枣庄有规信息科技有限公司
尉昊赟、郭彤、孔明、郝建国、郑伟峰、陈刚、张宗政、朱悦
标准简介
本文件规定了用于表面高度三维映射的相干扫描干涉（CSI）测量系统的计量特性。
内容预览
