产品几何技术规范（GPS） 表面结构 区域法 第603部分：非接触（相移干涉显微）式仪器的标称特性
Geometrical product specifications (GPS)—Surface texture: Areal—Part 603: Nominal characteristics of non-contact (phase-shifting interferometric microscopy) instruments
标准状态
发布于：2022-12-30
实施于：2023-04-01
废止
基本信息
GB/T 33523.603-2022
现行
2022-12-30
2023-04-01
国家标准委
国家市场监督管理总局、国家标准化管理委员会
国家标准委
全国产品几何技术规范标准化技术委员会
清华大学、深圳市中图仪器股份有限公司、中机生产力促进中心有限公司、广州计量检测技术研究院、山东大学、哈尔滨工业大学、中国计量科学研究院、中机研标准技术研究院（北京）有限公司
尉昊赟、闫鹏、施玉书、代鲲鹏、马俊杰、刘俭、朱悦
标准简介
本文件规定了相移干涉法（PS）轮廓和区域表面结构测量显微镜的计量特性。
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