硅单晶中氮含量的测定 二次离子质谱法
Determination of nitrogen content in silicon single crystal—Secondary ion mass spectrometry method
标准状态
发布于：2022-12-30
实施于：2023-04-01
废止
基本信息
GB/T 42263-2022
现行
2022-12-30
2023-04-01
国家标准委
国家市场监督管理总局、国家标准化管理委员会
国家标准委
全国半导体设备和材料标准化技术委员会、全国半导体设备和材料标准化技术委员会材料分技术委员会
中国电子科技集团公司第四十六研究所、有色金属技术经济研究院有限责任公司
马农农、何友琴、刘立娜、何烜坤、李素青、陈潇
标准简介
本文件描述了硅单晶中氮含量的二次离子质谱测试方法。 本文件适用于硼、锑、砷、磷的掺杂浓度小于1×1020cm-3（0.2%）的硅单晶中氮含量的测定，测定范围不小于1×1014cm-3。
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