真空溅射镀膜设备
标准状态
发布于：2010-02-21
实施于：2010-07-01
废止
基本信息
JB/T 8945-2010
现行
2010-02-21
2010-07-01
工业和信息化部
全国真空技术标准化技术委员会
JB/T 8945-1999
广东中环真空设备有限公司、成都南光机器有限公司等
蔡东锋、张远青 等
标准简介
本标准规定了真空溅射镀膜设备的基本参数、技术要求、试验方法、检验规则、标志、包装、运输和贮存等。 本标准适用于压力在1×10-1Pa～1×10-3Pa范围的真空溅射镀膜设备。
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