硅片边缘轮廓检验方法

YS/T 26-2016现行行业标准

标准状态

发布于：2016-07-11

实施于：2017-01-01

废止

标准号YS/T 26-2016

标准状态现行

发布日期2016-07-11

实施日期2017-01-01

中国标准分类号H21 金属物理性能试验方法

国际标准分类号77.040 金属材料试验

发布部门工业和信息化部

代替标准YS/T 26-1992

本标准规定了硅片边缘轮廓（包含切口）的检验方法。本标准适用于检验倒角硅片的边缘轮廓（包含切口），砷化镓等其他材料晶片边缘轮廓的检验可参照本标准执行。