光掩模石英玻璃基板
Silica glass substrates for photomask
标准状态
发布于：2017-09-07
实施于：2018-08-01
废止
基本信息
GB/T 34178-2017
现行
2017-09-07
2018-08-01
中国建筑材料联合会
中华人民共和国国家质量监督检验检疫总局、中国国家标准化管理委员会
中国建筑材料联合会
中国建材检验认证集团股份有限公司、长沙韶光铬版有限公司、国家安全玻璃及石英玻璃质量监督检验中心、中建材衢州金格兰石英有限公司、中国建筑材料科学研究总院
吴洁、王京侠、花宁、刘焕敏、张浩运、杨晓会、张应语、王友军、李弋舟、肖颂华、聂兰舰、杨学东、孔敏
标准简介
本标准规定了光掩模石英玻璃基板（以下简称石英玻璃基板）的术语和定义、要求、试验方法、检验规则及标志、包装、运输和贮存。 本标准适用于半导体集成电路、光通讯、微机电系统（MEMS)、光电器件和发光二级管（LED）等光刻工艺中光掩模石英玻璃基板。
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