电子束物理气相沉积用8YSZ陶瓷靶材技术条件

Technical specification of 8YSZ target for Electron Beam Physical Vapor Deposition

T/CSEA 26-2023现行团体标准

标准状态

发布于：2023-02-07

实施于：2023-03-01

废止

标准号T/CSEA 26-2023

标准状态现行

发布日期2023-02-07

实施日期2023-03-01

国际标准分类号25.220.01 表面处理和镀涂综合

发布部门中国表面工程协会

团体名称中国表面工程协会

起草单位北京金轮坤天特种机械有限公司、中国航发沈阳黎明航空发动机有限责任公司、北京航空航天大学。

起草人何箐、邹晗、王世兴、王璐、彭徽。

本文件规定了采用化学共沉淀法、电熔法合成的高纯氧化钇部分稳定氧化锆（ZrO2(HfO2)-7~8 wt. %Y2O3）原材料所制备的陶瓷靶材的技术要求、质量保证，标志、包装、运输和贮存等。本文件适用于电子束物理气相沉积用8YSZ陶瓷靶材。