微机电系统(MEMS)技术基于拉曼光谱法的微结构表面应力测试方法

Micro-electromechanical system technology—Measuring method of microstructure surface stress based on Raman spectroscopy

GB/T 34899-2017现行国家标准

标准状态

发布于：2017-11-01

实施于：2018-05-01

废止

标准号GB/T 34899-2017

标准状态现行

发布日期2017-11-01

实施日期2018-05-01

中国标准分类号L55 微电路综合

国际标准分类号31.200 集成电路、微电子学

主管部门国家标准委

发布部门中华人民共和国国家质量监督检验检疫总局、中国国家标准化管理委员会

技术归口国家标准委

起草单位中北大学、中机生产力促进中心

起草人石云波、唐军、李海斌、朱悦、程红兵、崔建功

本标准规定了拉曼光谱法测定微机电系统（MEMS）结构表面残余应力、相对静态应力、相对动态应力的方法。本标准适用于微机电系统（MEMS）结构表面残余应力、相对静态应力、相对动态应力的拉曼光谱法测试。