半导体设备可靠性、可用性和维修性（RAM）测量方法

Test method for semiconductor equipment reliability, availability and maintainability(RAM)

GB/T 24468-2025现行国家标准

标准状态

发布于：2025-10-05

实施于：2026-05-01

废止

标准号GB/T 24468-2025

标准状态现行

发布日期2025-10-05

实施日期2026-05-01

中国标准分类号L85 电子测量与仪器综合

国际标准分类号17.040.30 测量仪器仪表

主管部门国家标准委

发布部门国家市场监督管理总局、国家标准化管理委员会

技术归口国家标准委