朗缪尔单探针等离子体测试仪校准规范
Calibration Specification for Single Langmuir Probe Plasma Instrument
标准状态
发布于:2023-02-20
实施于:2023-04-19
废止
基本信息
T/BEA 43002-2023
现行
2023-02-20
2023-04-19
北京电子仪器行业协会
北京电子仪器行业协会
北京东方计量测试研究所
柴昊、邓星亮、刘民、张书锋、卢佳林
标准简介
本规范规定了朗缪尔单探针等离子体测试仪的计量特性、校准条件、校准项目、校准方法、校准结果的处理。