半导体抛光液用硅溶胶中杂质元素含量的测定电感耦合等离子体原子发射光谱法

JC/T 2133-2012现行行业标准

标准状态

发布于：2012-12-28

实施于：2013-06-01

废止

标准号JC/T 2133-2012

标准状态现行

发布日期2012-12-28

实施日期2013-06-01

中国标准分类号G14 其他无机化工原料

国际标准分类号71.040 分析化学

发布部门工业和信息化部

技术归口全国工业陶瓷标准化技术委员会

起草单位中国科学院上海硅酸盐研究所

起草人陈奕睿、屈海云等

本标准规定了采用电感耦合等离子体原子发射光谱(ICP-AES)法测定半导体抛光液用硅溶胶中杂质元素含量的方法。本标准适用于半导体化学机械抛光(CMP)中抛光液用的各种硅溶胶。