电子工业用气体氩

Gas for electronic industry - Argon

GB/T 16945-2009已废止国家标准

标准状态

发布于：2009-10-30

实施于：2010-05-01

已废止

标准号GB/T 16945-2009

标准状态已废止

发布日期2009-10-30

实施日期2010-05-01

中国标准分类号G86 工业气体与化学气体

国际标准分类号71.100.20 工业气体

主管部门国家标准委

发布部门中华人民共和国国家质量监督检验检疫总局、中国国家标准化管理委员会

技术归口国家标准委

代替标准GB/T 16945-1997

起草单位北京氦普北分气体工业有限公司、西南化工研究设计院

起草人赵俊秀、周鹏云

本标准规定了氩的技术要求，试验方法以及包装、标志、贮运及安全。本标准适用于以深冷法从空气、合成氨尾气中提取的液态和气态氩以及经纯化方法得到的氩。氩用于系统的吹扫、保护和增压，它还可以用于化学汽相淀积、溅射、等离子及活性离子刻蚀剂和退火等不同工艺中。