半导体晶圆缺陷自动光学检测设备

Wafer defects Automatic optical inspection equipment

T/CZSBDTHYXH 001-2023现行团体标准

标准状态

发布于：2023-08-08

实施于：2023-08-09

废止

标准号T/CZSBDTHYXH 001-2023

标准状态现行

发布日期2023-08-08

实施日期2023-08-09

国际标准分类号29.045 半导体材料

发布部门常州市半导体行业协会

团体名称常州市半导体行业协会

起草单位江苏维普光电科技有限公司、常州市半导体行业协会、国家半导体照明产品质量检验检测中心（江苏）（常州检验检测标准认证研究院）、常州工学院

起草人刘建明、刘庄、张彦鹏、周佼、王宏才、郭魂、张鸣杰