表面化学分析 俄歇电子能谱 荷电控制与校正方法报告的规范要求
Surface chemical analysis—Auger electron spectroscopy—Reporting of methods used for charge control and charge correction
标准状态
发布于:2016-10-13
实施于:2017-09-01
废止
基本信息
GB/T 32998-2016
现行
2016-10-13
2017-09-01
中国科学院
中华人民共和国国家质量监督检验检疫总局、中国国家标准化管理委员会
中国科学院
中国科学技术大学物理学院
张增明、丁泽军、达博、张鹏、毛世峰、曾荣光、阮瞩、唐涛
标准简介
本标准规定了在电子激发绝缘样品的俄歇电子能谱测量中,描述荷电控制方法所需的最少信息,该信息也一并报告在分析结果中。参见附录A提供的现有的AES分析前或分析期间荷电控制的有用方法。表A.1对各种方法和途径进行了总结,并依方法的简单性排列。表A.1中的一些方法对大多数仪器是可用的,一部分则需要特殊的硬件,还有部分可能涉及样品的重装或变动。