感应耦合等离子体发生器校准规范

Calibration specification for inductively coupled plasma generator

T/BEA 40001-2022现行团体标准

标准状态

发布于：2022-01-18

实施于：2022-02-09

废止

标准号T/BEA 40001-2022

标准状态现行

发布日期2022-01-18

实施日期2022-02-09

国际标准分类号01.020 术语学（原则和协调配合）

发布部门北京电子仪器行业协会

团体名称北京电子仪器行业协会

起草单位北京东方计量测试研究所

起草人柴昊、贾军伟、刘民、张书锋、邓星亮

本规范规定了感应耦合等离子体发生器的计量特性、校准条件、校准项目、校准方法、校准结果的处理。本标准适用于真空环境下使用的新制造（或新购置）和修理后的感应耦合等离子体发生器等离子体参数的校准和周期性校准。