微束分析扫描电镜图像清晰度评价方法

DB44/T 1527-2015已废止地方标准

标准状态

发布于：2015-01-30

实施于：2015-04-30

已废止

标准号DB44/T 1527-2015

标准状态已废止

发布日期2015-01-30

实施日期2015-04-30

中国标准分类号N53 电化学、热化学、光学式分析仪器

国际标准分类号71.040.01 分析化学综合

发布部门广东省质量技术监督局

技术归口广东省质量技术监督局

起草单位广州计量检测技术研究院、金发科技股份有限公司

起草人王潇潇、韦争亮、王海燕、张鹏、张洁、程庆、熊磊、汪立文

本标准适用于扫描电子显微镜（SEM）图像清晰度的评价，涉及术语定义、获得SEM图像的步骤、SEM图像的获取、图像内区域的选取、具体的评价方法和检测报告等内容。其中，评价方法包括傅里叶变换（FT)法、对比梯度（CG）法及微分（DR）法。