半导体制造用气体处理指南
Guide for gaseous effluent handling in semiconductor industry
标准状态
发布于：2017-11-01
实施于：2018-02-01
废止
基本信息
GB/T 34971-2017
现行
2017-11-01
2018-02-01
国家标准委
中华人民共和国国家质量监督检验检疫总局、中国国家标准化管理委员会
国家标准委
中昊光明化工研究设计院有限公司、高麦仪器公司、东莞市联臣电子科技有限公司、上海市计量测试技术研究院、西南化工研究设计院有限公司、广东华特气体股份有限公司、上海华爱色谱分析技术有限公司
孙福楠、牛艳东、王鸿、方华、廖恒易、杜汉盛、陈鹰、周鹏云
标准简介
本标准规定了半导体制造用气体排放系统的原理及技术。 本标准适用于半导体制造用气体的处理。
内容预览
