溅射离子泵技术条件

JB/T 4082-1991已废止行业标准

标准状态

发布于：1991-07-22

实施于：1992-07-01

已废止

标准号JB/T 4082-1991

标准状态已废止

发布日期1991-07-22

实施日期1992-07-01

中国标准分类号J71 泵

国际标准分类号23.160 真空技术

发布部门机械电子工业部

本标准规定了普通型式溅射离子泵的技术要求、检验规则、试验方法、包装、贮存等。本标准适用于JB/T 4081所规定的二级型（L型）和三极型（3L型）的溅射离子泵。