平面等厚干涉仪校准规范
Calibration Specification for Flat Equal Thickness Interferometers
标准状态
发布于:2003-05-12
实施于:2003-11-12
废止
基本信息
JJF 1100-2003
现行
2003-05-12
2003-11-12
国家市场监督管理总局
全国几何量工程参量计量技术委员会
JJG 336-1983
中国测试技术研究院
冉庆(中国测试技术研究院)、陈永康(中国测试技术研究院)、李建民(中国测试技术研究院)、曹箭(中国测试技术研究院)
标准简介
本规范适用于平面等厚干涉仪的校准,不适用于只能估读干涉条纹弯曲量的同类干涉装置的校准。