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微机电系统(MEMS)技术微机械量评定总则

Micro-electromechanical system technology - General rules for the assessment of micro-mechanical parameters

GB/T 26112-2010现行国家标准

标准状态

发布于:2011-01-10
实施于:2011-10-01
废止

基本信息

GB/T 26112-2010
现行
2011-01-10
2011-10-01
L55 微电路综合
国家标准委
中华人民共和国国家质量监督检验检疫总局、中国国家标准化管理委员会
国家标准委
天津大学、西安交通大学、太原理工大学、中机生产力促进中心、大连理工大学、中原工学院
胡晓东、丁红宇、刘伟、张苹

标准简介

本标准规定了微机械量的评定基本原则、评定要素、评定程序、评定方法以及评定规则。 本标准适用于企业、研究机构、枪测机构从事微机电挂术及产品的研究、设计、生产、检测及使用。

内容预览

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