俄歇电子能谱术和X射线光电子能谱术的样品处理标准导则

SJ/T 10458-1993现行行业标准

标准状态

发布于：1993-12-17

实施于：1994-06-01

废止

标准号SJ/T 10458-1993

标准状态现行

发布日期1993-12-17

实施日期1994-06-01

中国标准分类号A42 物理学与力学

国际标准分类号31.020 电子元器件综合

发布部门电子工业部

本标准导则适用于俄歇电子能谱术(AES)和X射线光电子能谱术(XPS)，也适用于其他表面灵敏分析技术。本标准导则可能涉及有害的操作、设备及物质，但没有说明所有相关的安全问题。使用者在使用本导则前，应该制定适当的安全与保健措施，并确定本导则的应用范围。