激光测微仪校准规范
Calibration Specification for Laser Micrometers
标准状态
发布于：2017-11-20
实施于：2018-02-20
废止
基本信息
JJF 1663-2017
现行
2017-11-20
2018-02-20
国家质量监督检验检疫总局
全国几何量工程参量计量技术委员会
JJF1094-2002
工信部电子第五研究所赛宝计量检测中心、佛山赛宝信息产业技术研究院有限公司、陕西省计量科学研究院
李江云、李升春、常青、张辉
标准简介
本规范适用于采用光学三角法测量的激光测微仪的校准。 光测微仪(以下简称测微仪)是一种利用光学三角法测量原理，测量物体位移 (尺寸)变化的测量仪器，主要由激光光源、透镜、光学阵列接收部件、信号转换电路 等组成。由激光光源发出的激光束，垂直照射到被测物体表面形成光斑，然后从另一角度对物体表面的激光光斑进行成像，由接收部件对其进行瞄准并记忆。当被测物表面位 置沿激光轴线方向产生位移后，光学阵列接收部件感受到光斑的位置变化，将变化量换算成位移变化△L，再通过信号转换系统显示出位移量，其工作原理见图1。 测微仪主要
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