半导体材料术语

Semiconductor materials-terms and definitions

GB/T 14264-2009已废止国家标准

标准状态

发布于：2009-10-30

实施于：2010-06-01

已废止

标准号GB/T 14264-2009

标准状态已废止

发布日期2009-10-30

实施日期2010-06-01

中国标准分类号H80 半金属与半导体材料综合

国际标准分类号29.045 半导体材料

主管部门国家标准委

发布部门中华人民共和国国家质量监督检验检疫总局、中国国家标准化管理委员会

技术归口国家标准委

代替标准GB/T 14264-1993

起草单位中国有色金属工业标准计量质量研究所、杭州海纳半导体有限公司、有研半导体材料股份有限公司、国瑞电子材料有限责任公司等

起草人孙燕、黄笑容、卢立延、郑琪、向磊、翟富义

本标准规定了半导体材料及其生长工艺、加工、晶体缺陷和表面沾污等方面的主要术语和定义。本标准适用于元素和化合物半导体材料。