硅单晶抛光片

Monocrystalline silicon polished wafers

GB/T 12964-2003已废止国家标准

标准状态

发布于：2003-06-16

实施于：2004-01-01

已废止

标准号GB/T 12964-2003

标准状态已废止

发布日期2003-06-16

实施日期2004-01-01

中国标准分类号H82 元素半导体材料

国际标准分类号29.045 半导体材料

主管部门国家标准委

发布部门中华人民共和国国家质量监督检验检疫总局

技术归口国家标准委

代替标准GB/T 12964-1996

起草单位北京有色金属研究总院

本标准规定了硅单晶抛光片(简称硅抛光片)的必要的相关性术语、产品分类、技术要求、试验方法、检测规则以及标志、包装、运输、贮存等。本标准适用于直拉硅单晶研磨片经腐蚀减薄后进行单面抛光制备的硅抛光片。产品主要用于制作集成电路等半导体器件或做为硅外延沉积的衬底。